模版印刷(Stencil Printing)
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模版印刷是一种直通印刷技术,具有良好的印刷脱版性和印刷后焊膏的保形性,容易控制焊膏厚度。模版印刷是印刷焊膏的最佳方法。
模版印刷可以有两种形式,一种是丝网模版印刷,另一种是镂空模版印刷。
丝网模版是在丝网上形成掩模图案,涂料通过丝网印刷到基板上;镂空模版是在模版上形成镂空图案,涂料通过镂空图形印刷到基板上。显然,丝网模版由于有丝网支撑,可以在上面有互不连接的图案,而镂空模版必须考虑镂空图形的连接问题。
丝网模版印刷是一种传统的T业印刷技术,用于微纳米加工中的丝网模版印刷无非是将模版上的图案做得更小,丝网的网眼更细。但由于丝网本身的网眼限制,丝网印刷的图形一般在几十微米或数百微米以上。丝网上的图案可以用光学曝光光刻胶的方法形成,光刻胶显影后自然形成了丝网通透区。丝网印刷在制作厚膜压电材料器件方面有独特的优势。因为压电材料(piezoelectric)主要是铅锆钛化合物(leadzirconate titanate,PZT),PZT材料既无法用以上的物理或化学方法沉积,也无法用传统的刻蚀方法加工成图案。用丝网印刷方法则可以将PZT制成浆料然后刷涂在丝网模板上,用这种方法既可以得到较厚的PZT膜.又能够形成所需要的PZT图案结构。这种技术已经大量应用于制作PZT驱动的微执行器或微流体泵等微器件。这类微器件结构尺寸比较大,丝网模版印刷的分辨率完全能够胜任。
镂空模版印刷也是一种传统的工业印刷技术。镂空模版印刷与丝网模版印刷不同的是印刷材料直接透过镂空区沉积到基板上。可以像丝网印刷那样刷涂,也可以用热蒸发方法通过镂空区域蒸发沉积到衬底表面,例如将金属材料蒸发沉积到衬底表面形成金属图案。
丝网印刷与模版印刷都属于孔版印刷,即均采用漏印的方式进行印刷。模版印刷的特点是通过手工刻制出模版,并以模版作为印刷版而无须承载体。那么为了保证各印刷要素的位置关系,它们之间就必须要以某种方式连接起来。这一方面破坏了原有图像的完整性,同时其相对位置关系也不易保证。有时甚至无法确定图像的位置,比如彩色阶调类的图像。而丝网印刷,以丝网为载体,将图像模版建立在丝网上,从而保证了原有图像的完整性和各印刷要素位置关系的准确。特别是丝网印刷采用感光制版方法,不仅制版速度快,而且图像的质量也提高了很多。因而只有在要求较低的条幅印刷时,为了经济、快捷,才选用直接刻制模版进行印刷。而多数情况下都要采用丝网印刷的方法。