通常称低于3 μm精度的加工为普通精度，而高于此值的加工则你之为超精度加工。
在高精度训工的范畴内，根据精度水平的不同，分为三个档次:
精度为3～O．3 μm，粗糙度为O．3～O·03μm的叫精密加工；
精度为0．3～0．03 μm，粗糙度为0．03～0．005 μm的叫超精密加工，或亚微米加工；
精度为0．03 μm（30纳米），粗糙度优于0．005 μm以上的则称为纳米（nm）加工。
深圳华能精密有限公司有专门做超精密加工的。精密模具的加工精度一般只有几个微米，其精细程度是一根头发丝的1％。以模具制造的平面度为例，行业标准要求模具的平面度应是材料厚度的10％，华能精密可以做到8％；加工精度行业标准是正负0.01毫米，华能精密可以做到正负0.003个毫米，也就是3个微米。在超精密加工方面做得比较成功。
