自60年代电感耦合等离子体(ICP) 问世以来，由于它具有灵敏度高，稳定性好，基体效应小，线性范围宽及多元素同时测定等优点，因此以ICP为光源的发射光谱仪在分析领域内得到越来越广泛的应用。ICP-OES可以分析元素周期表中所有金属元素，检出限在1ppb以下。同时可以分析绝大部分非金属元素，例如As、Se、 P、S、Si、 Te等，检出限低于10ppb，如果配合使用氢化物发生器，这些非金属的检出限可以改善10倍以上。
电感耦合等离子体发射光谱技术的发展史来看大致经历了四个时代:
第一代:以棱镜为分光元件，以感光板为测量器的摄谱仪;
第二代:以固定棱镜或光栅为分光元件，以多个光电倍增管(PMT)为检测器的多道直读ICP光谱仪时代;
第三代:以转动平面光栅为分光元件，以单个光电倍增管(PMT)为检测器的单道扫描ICP 光谱仪时代;
第四代:以中阶梯光栅+光栅或棱镜构成的二维色散系统为分光系统，以平面固体检测器为检测器的全谱直读ICP时代。
从ICP技术的发展历程来看，中阶梯光栅系统取代全息光栅;平面固体检测器取代光电倍增管;全谱直读型ICP取代早期的多道及单道ICP已经是不争的事实。
珀金埃尔默公司由珀金●理查德和埃尔默●查理斯于1937年4月创立，很快成为美国精密光学仪器的主要供应商，1944 年成功推出世界上第一台商用红外光光度计-12型，这项新技术就是现代化学分析基本手段的鼻祖。1955年5月，珀金埃尔默公司推出世界上第一-台商用气相色谱仪-154型。1957 年匹兹堡会议上，公司推出世界首台双光束红外光谱仪137 型。与此同时，珀金埃尔默公司成为世界上第-家进入国际市场的科学仪器制造商。
60年代珀金埃尔默公司以其研制的世界第一台原子吸收分析仪-AA303型占据了世界分析仪器行业领先地位。1972年,公司进入液色相谱市场，成功地推出最早的带梯度泵的液色相谱仪1220型。1975 年，公司最早将微机技术引入460型AAS，使分析更轻松更有效。1983年珀金埃尔默公司研制开发出世界上第一台用于商业的ELAN 250 型ICP-MS, 1987 年又相继推出世界第一一台耐HF酸进样系统的ELAN 500, 第一台加强型涡轮分子泵的ELAN 5000紧接着是具备仿真及自动延伸检测范围功能的ELAN6000型ICP-MS系统。
珀金埃尔默公司的ICP-OES 是最受欢迎的产品之一，ICP-OES 的工厂一直设 在纽约近郊的Shelton,主要的技术研发人员在此工作了20余年，产品生产质量稳定，技术基础雄厚，自1978年推出5000型以来，先后经历了5500型、6500型、P II型、P1000 型、P2000 型、P40型、P400型的不断改进，技术一直遥遥领先。1993 年推出的Optima3000型是世界上di一台全谱直读ICP_OES, 1994年推出专利的双向观测技术，使ICP-OES的性能进入了一个全新的阶段。2000年推出的Optima 4000DV系列和Optima 2000DV是 第九代和第十代产品，采用了固态射频发生器和全中文软件，2004 年推出的Optima 5000DV系列和Optima 2100DV是珀金埃尔默公司的第十一代和第十二代产品，全面加强了形态分析的功能。2008 年推出的Optima 7000 系列是珀金埃尔默公司的第十三代产品，进-步提高了固态射频发生器的可靠性，并针对食品安全等领域提出的新要求，大幅度提高了仪器的灵敏度，代表了当今ICP-OES技术的zui高成就。
