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5S内部审核是为了评价5S活动和有关结果是否符合公司的期望和要求，及为了寻求继续改善的可能性空间而进行的内部自我系统性的审查，是为了及时地发现现场管理中出现的问题，以便组织力量及时地加以纠正和预防，使5S体系能朝着正确、健康的方向发展。它涉及的范围比较广泛，内容主要是针对5S的推行情况及相关结果。它是监察5S活动推展程度、深度的有效管理工具，因此，在进行审核的过程中，一定要予以重视。
（1）5S管理体系与公司的期望要求一致。
（2）作为一种重要的管理手段，及时发现现场管理中的问题，组织力量来加以纠正或预防。
（3）作为一种自我改进的机制，使得5S系统能持续地保持其有效性，并不断地改进和完善。
1.系统性——正式的，有序的活动。
2.客观性——审核的独立性和公正性。
3.自发性——企业出于改善的目的而发起的一种有组织地审核。
5S活动和有关结果是否符合计划的安排，这些安排是否能有效地贯彻，贯彻的结果是否能达到目标，这就是审核的内容。
整个工厂或公司所有的部门都是审核的范围。在实际工作中是否按规定的程序和方法。
（1）根据5S的手册；
（2）根据公司的规章制度、保证承诺；
（3）结合国家相关的环境保护的法规。
这些都是审核的依据。
每个部门最少每半年一次，而且每个月有一到两次集中各部门的巡查式的审核。发生了严重的问题或生产场所有较大整修改变时可以进行临时性的项目审核。
1.审核是监察5S活动推展程度、深度的有效管理工具，是为了更好更彻底地实施改善。由上而下对审核应重视并有正确认识，而不是形式上走过场。
2.与ISO9000一样，审核的客观性、系统性和独立性是核心原则。没有这个原则，就不存在效果和效率。
3.5S活动具有很大的灵活性，涉及方方面面，所以在审核之前，审核的范围（区域）、目的（主题）和判定标准（水平程度）应明确，并达成一致意见。
4.审核人员应对5S有深刻的认识，并有相应的整体把握及评价判定能力；这里有两大方面的具体要求：一是不可只见一叶，不见森林，即我们所笑的“一叶障目”，要整体把握；二是审核要从细微处察觉异常，查找隐患。要达到以上两点，审核员需要很好地学习5S要义。
5.在审核中，审核人员应该对事不对人，客观公正；被审核人员应抱着一种“闻过则喜，不断改善”的态度，配合审核。
(1) 5S体系必须是正规的文件化体系
首先应要求建立正规的文件，5S体系才能正常地运作，只有正常的运作5S体系才有审核的必要，正规的5S体系形成以后，才可以进行公正的比较和评价。实际行动中要有书面的文件或非书面的承诺，承诺一定要一致。
(2) 5S体系审核必须是一种正式的活动
5S体系审核必须依照正式的特定要求来进行，包括5S手册，目标承诺书，方法指导书，或其它支持的文件，样板，或有关环境的法规，制度规范的要求，以上这些特定的要求都是在确定审核任务时就应该予以明确。
在审核正式文件或书面文件当中，要注明审核的目的，审核的范围，要制订正式的审核计划，通过制订实施审核计划的检查表，依据计划和检查表进行审核。
(3) 体系审核结果要形成正式的文件
要有正式的审核报告，审核报告和记录都是正式的文件，留存到规定的期限。
(4) 5S体系审核要依据客观证据
相关的具体事实为什么强调客观存在的证据，因为它是对事不对人，不受情绪或偏见来左右事实，而且是可以陈述的辩证的事实。
(5) 审核人员必须具备一定的资格
（1）只能在某一个时刻进行，不能跟踪整个过程
（2）只能调查到具有代表性的个例，不可能审查全部
（3）即使没有找到缺点，也不能证明5S方面是完美无缺的
5S体系审核有两个阶段:
1.第一个阶段：文件的审查
审查是否建立了正规的文件化的体系；文件的内容是否正确，是否符合标准；了解受审核方的基本情况。
2.第二个阶段：现场审核
检查受审核现场，动作是否符合特定的要求，比方说5S的手册、承诺书、保证等三方面的情况，当这些都没有问题以后，我们就要进行5S体系审核的以下五个步骤。
3.审核的步骤
第一步：审核工作计划
检查公司的5S审核制度是否很完善，确定审核的范围，制订审核的计划。
第二步：指定审核员或组成审核组
审核组和审核员要搜集相关的文件，然后对文件进行审查，根据实际情况制订审核计划，准备工作计划。
第三步：实施审核
第四步：审核报告
编制审核报告。审核报告的内容应包括什么时间、地点、人和事，发现了什么问题，怎么样去改善，如何改善，也可以提出改善的意见或建设性的意见。然后把这些报告都集中起来，一份分发到受审单位，另一份存档。
第五步：纠正措施与跟踪
向受审核方提出纠正的要求，受审核方制订并实施纠正的措施，验证措施的有效内容，而且必定要做成记录。
5S体系审核如发生审核组与受审部门的争执时，由5S推进组织仲裁。
内部5S体系审核重视纠正措施，对纠正措施完成情况不仅要跟踪验证，还要分析研究其有效性。