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60岁回国创业,78岁撑起中国刻蚀机一片天!尹志尧的传奇仍在上演

任正非曾一针见血指出华为之所以被卡脖子,是因为设计出的高端芯片,国内基础工业还无法生产制造出来,“屋漏偏逢连夜雨”,10月7日,美国将31家中国公司和相关研究机构等悉数列入实体名单,严格限制向其出售尖端生产设备以生产先进制程芯片。

美国用实际行动让“科技无国界”成了笑话,我们也该摈弃与某国合作共赢的幻想了,唯有自力更生,实现半导体产业链的自主,才能彻底摆脱美国的技术封锁,尽管要实现这一步,难度不亚于登天,但好在,集成电路这么复杂的产业链,也并不是美国一人说得算,任总的话其实只说对了一半……

“1粒米上刻1亿个字”?这位传奇大佬做到了!

“我们现在可以在一个米粒上刻1亿个字”说出这句“狂言妄语”的不是别人,而是传奇海归大佬、中国“刻蚀机之父”尹志尧,他60岁从美国空手归来,一手创办的中微公司,如今已成为世界级刻蚀巨头,并且因为技术专利完全自主研发,连美国都无可奈何,只能白名单放行。

不过长久以来,大多数网友都没听过尹志尧的鼎鼎大名,这与媒体选择性渲染光刻机的卡脖子问题不无关系,直接导致了大众忽视了刻蚀机的重要性,实际上,在芯片制造流程中,有三大最主要生产技术,分别为光刻技术、刻蚀技术与薄膜沉积技术,对应得设备为光刻机、等离子体刻蚀机与薄膜机,这些主要生产设备缺一不可,而薄膜机目前不存在卡脖子问题,刻蚀机已经实现自主,早就具备了5nm高端芯片的刻蚀条件,台积电、中芯国际等都是中微的客户,所以任总说国内无法生产制造出海思设计的高端麒麟芯片,其实只说对了一半——我们已经搞定尖端SoC的自主刻蚀了,而完成这历史性一步,最大的功臣,便是尹志尧。

为了让读者对大佬的有一个更丰满立体的认知,照例,我们先来一段尹志尧的高光履历表:

1944年出生的尹志尧,可以说是名门之后,其父是在日本留学归来报效社国的著名电力化学专家,也许是耳濡目染,尹志尧自幼就对化学科学产生浓厚的兴趣,并因为成绩优异,屡获奖学金;

1962年,尹志尧顺利考入了(后来)被誉为化学专业天花板的中国科学技术大学,毕业后,尹志尧先后被分配到兰州炼油厂和中科院兰州物理化学所工作,这一干就是10年,不过,尹志尧还想在专业上进一步夯实自己,他并不满足于衣食无忧的铁饭碗,内心总有一个干大事的声音在呼唤;

1978年,尹志尧利用业余时间学习,顺利考入北大化学系,当参观到当时国内最先进的计算机之时,尹志尧大受触动,内心埋下了对半导体一腔挚爱的火种,取得北大化学硕士学位后,又前往美国加州大学读博深造,仅3年时间并拿下物理系博士学位;

1983~1985年,尹志尧以工程师身份供职于硅谷英特尔公司,英特尔中心研究开发部,是他在硅谷职业镀金生涯的起点,这一阶段眼界和能力的开拓,为尹志尧后续的事业腾飞埋下了伏笔;

1986年,尹志尧被LAMReasearch相中,加入LAM,仅仅花了5年时间,就带领LAM走上世界之巅,成为全球最大的刻蚀机公司,彼时LAM的市场份额,一度高达40%,LAM一将功成,尹志尧也名气大振,多家顶级公司均向他伸出橄榄枝,其中就包括著名的应用材料公司、如今的半导体设备头号大厂AMAT。

彼时的AMAT趁LAM管理动荡之际,一举将尹志尧吸入麾下,此后的十几年,有了尹志尧的加盟,AMAT如虎添翼,很快就跻身全球第一大刻蚀机公司之位,并且营收规模遥遥领先头号光刻机大厂ASML。

可以说在上世纪80年代到2004年,是尹志尧职业生涯大放异彩的黄金二十年,他从一个小小的工程师起步,愣是干到了全球刻蚀机霸主的副总裁,不夸张地讲,全世界有一半的人都在用由他(参与)主导开发的设备。

2004年,已身居全AMAT副总裁高位的尹志尧毅然决然地辞职,带领15名心腹大将,回到中国,并于同年创办中微半导体设备公司,然后便有了开头的故事。

十年磨剑,科技报国

60岁归国创业,尹志尧的决心日月可鉴,不过,在上海创办中微的头几年,他惹上的麻烦就没断过,LAM和AMAT等前东家们多次以莫须有的“携带技术机密”回国为由,起诉中微,妄图将尹志尧科技报国的理想扼杀在摇篮里,但最终,他们都失算了……

打铁还需自身硬,尹志尧从美国走得干干净净,几乎是空手回国,没有携带任何纸质或电子档的相关技术资料,因为尹志尧和团队们笃信,我在美国能创造发明出一系列技术专利,我同样回国后,也能通过原创自主技术大施拳脚,果然泛林和应用材料两大巨头对中微发起的连番诉讼,最终都无一例外败北了,老美经过反复审查,发现确实找不到中微的一丁点把柄后,遂对其开放了白名单(中微可以供货美国公司和世界各地),尹志尧不仅未被卡脖子,还意外获得了世界通信证,创造了中国半导体历史。

扫除障碍后,尹志尧率领团队日夜兼程,苦拼十几载,终于将中微公司推到了全球刻蚀设备五大供应商之列,彻底填补了国产高端蚀刻设备的空白,中微的技术实力有多强悍呢?

截至2021年底,中微累计申请专利2012项,其中发明专利高达1741项,实用新型专利251项,其余专利20项,发明专利占比近90%,值得一提的是,仅尹志尧个人,就斩获了400多项国内外专利,一流的研发实力与智慧成果产出能力,成了中微最大的底气。

所谓艺高人胆大、能者亦多劳,尹志尧的中微团队,还曾于2017年参与到华为海思麒麟970芯片的研发,对华为AI芯片的迭代进化,起到了至关重要的作用,当然,这是后话了。

2018年4月,中微率先突破5nm刻蚀技术,在业界引发轰动,不过彼时不少媒体和自媒体却以博眼球为目的,毫不负责地称“我们已突破5nm芯片制造工艺”,这一度让尹志尧很苦恼,因为他明白,科研人最该有一说一,脚踏实地,中微可以刻蚀5nm高端芯片了,但是并不表示,我们可以无惧美国制裁了,因为,把IC设计图案“印制”到化学薄膜上还需要依赖ASML 的EUV光刻。

2021年4月,尹志尧在杨澜访谈录节目《逐风者》中透露,中微3nm刻蚀机Alpha原型机的设计、制造、测试及初步的工艺开发和评估等系列工作已完成,在尹志尧看来,摩尔定律就是要被不断打破的,他表示他和半导体行业的从业者们,还在全力冲击2nm、1nm的物理极限,“我们的刻蚀机其实已经刻到一两个原子这样的准确度”,这大抵就是无双的技术自信吧!

当然,中微为我国半导体设备的自主做出了重要的贡献,国家更是没亏待过它,甚至可以说自尹志尧归国创业时,就高度重视,并且持续大力扶持,仅有据可查的真金白银就有国家大基金一期投资(具体数额不详,保守估计10亿以上)和高达25亿的大基金二期投资。

不过,这也是尹志尧和中微该得到的优待,投资这样一个自主刻蚀龙头,总比把海量资金砸给那些个骗补贴的芯片项目要靠谱一万倍吧?

截至2022年6月末,尹志尧持股620万股,占公司已发行股本的1%,中微给尹志尧开出的薪酬也很有诚意,高达669.68万元,当然,哪怕是千万年薪,都不为过,因为像尹志尧、梁孟松这些技术大佬,创造出的直接经济价值,都是亿计的,对中国半导体产业链的贡献和深远影响,更绝非金钱可衡量的。

中微和尹志尧的传奇故事还在继续,接下来,我们就该展望上微在自研光刻机领域上带给我们的惊喜了,相信有这样一群立志报国的顶级科学家和企业家们,我们彻底摆脱美国的技术封锁,只是时间早晚!

未来的第一科技强国,必将属于中国!

参考资料:

经济观察报、中微公司公开报道、杨澜访谈录等,图源网

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