失效分析 赵工 半导体工程师 2022-08-12 10:00 发表于北京
近日，中微公司披露半年报，2022年上半年实现营业收入19.72亿元，同比增长47.3%；净利润4.68亿元，同比增长17.94%；扣非归母净利润4.41亿元，同比增长615.26%。
（图源公司公告）
具体来看，中微公司2022年上半年刻蚀设备收入为12.99亿元，较去年同期增长约51.48%，毛利率达到46.05%；其中CCP刻蚀设备上半年收入8.86亿元，同比增长13.98%；ICP刻蚀设备上半年收入4.13亿元，同比增长414.08%；公司2022年上半年MOCVD设备收入为2.41亿元，较去年同期增长约9.90%，本期MOCVD设备的毛利率达到35.42%，较去年同期增长约4.65%。
中微公司董事长尹志尧表示，公司的综合竞争优势继续得到强化和提升，各项营运的指标KPI已达到国际先进半导体设备企业的水平。公司已经开发出有技术创新和产品差异化的、完整的刻蚀设备系列，可以覆盖绝大多数的刻蚀应用。包括CCP电容性高能等离子体刻蚀设备和ICP电感性低能等离子体刻蚀设备。公司的CCP电容性高能等离子体刻蚀设备市场占有率不断提升，在一些主要客户的生产线上已达到30%甚至更高的市场占有率，产品正在国际一流的5纳米晶圆生产线的部分刻蚀应用上稳定可靠的进行大生产，并在5纳米以下的器件试生产上取得可喜的进展。
中微公司表示，2022年上半年度归属于上市公司股东的扣除非经常性损益后的净利润较上年同期增加约3.79亿元，增长幅度为615.26%，主要系2022年上半年公司营业收入和毛利同比均有大幅增长。
国产蚀刻机走出国门
众所周知，芯片是高端制造的代表,是科技和工艺的完美结合。一枚芯片的诞生需要从设计开始,之后是制造阶段,最后是封测阶段。制造这一步骤又由四项工艺组成,分别是光刻工艺、刻蚀工艺、薄膜工艺和清洗工艺,其中，刻蚀机、光刻机和薄膜沉积设备是市场占比较高的三大细分行业，分别占整个市场的25％、22％和22％。中微公司的业务就集中在刻蚀工艺领域。
经过多年的发展，如今的中微公司已成为国内芯片设备领域的龙头公司,目前，中微公司的刻蚀机产品已经突破5nm制程，成功跻身世界最大半导体公司台积电的供货商名单，并与其共同研发下一代技术。
公开资料显示，中微公司的等离子刻蚀设备已应用于国际先进的14纳米、7纳米和5纳米生产线,开发的MOCVD设备已经在逐步替代进口设备,并且服务于国内外40余条先进芯片生产线。
2021年，中微公司共生产付运CCP刻蚀设备298腔，产量同比增长40％，在部分客户市场占有率已进入前三位。该设备广泛应用于64层及128层3D NAND的生产线，随着3D NAND芯片制造厂产能的迅速爬升，该产品的重复订单稳步增长。ICP设备方面，2021年公司共生产付运设备134腔，产量同比增长235％。
此外，中微公司应用于金属互联的CVD钨制程设备能力已能够满足客户工艺验证的需求，正与关键客户对接验证；LPCVD和EPI设备研发进展良好，EPI设备已进入样机的设计、制造和调试阶段，以满足客户先进制程中锗硅外延生长工艺的电性和可靠性需求。同时，基于CVD设备，公司计划开发ALD和ALE设备，实现更高深宽比和更小的关键尺寸结构的填充和刻蚀，以满足高端逻辑器件和先进存储芯片的需求。
在专利方面，截至 2021 年6月30日，中微公司共申请专利1870项，其中发明专利1613项，已获授权专利 1106项，其中发明专利 945项。包括CCP刻蚀机、ICP刻蚀机、MOCVD设备在内的主要产品均拥有自主专利保护。
值得注意的是，虽然中微的技术实力已经到达世界领先水平,市占率稳步提升,但目前在业务规模和其他产品线上与泛林为代表的全球巨头尚有较大差距。2020年,泛林、应用材料、东京电子营收规模分别为119.29亿美元、182.02亿美元和120.19亿美元,而中微公司的营收仅为3.48亿美元。
可以看出，中微公司在体量上与国际半导体设备巨头还是存在较大差距的，如今中微的刻蚀机已经挤进国际一线行列，但未来要想在国际巨头竞争对手下夺得更多市场份额，中微公司不能有任何的放松。
近年来，随着半导体市场整体景气度不断上升，全球芯片设备市场也开始呈现快速增长的态势。
据wind数据显示，2021全球半导体设备销售额达1026亿美元，2016-2021年全球半导体设备销售额CAGR为20.01%；2021 年中国大陆半导体设备销售额为296亿美元，2016-2021年大陆半导体设备销售额 CAGR为35.60%。国内半导体设备增速更快，国内半导体设备销售额占比也从2016 年的15.66%提升至2021年的28.86%。
作为芯片行业上游的设备供应商，日益增长的半导体设备市场有利于中微公司的进一步成长，但是，如何在诸多国际半导体设备竞争对手中脱颖而出，抢下更多的市场份额，也是中微公司当前需要面对的问题，未来中微公司表现如何，让我们一起拭目以待。
来源：维科网电子工程
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